Наноструктура тонких плівок та поверхонь може бути проаналізована застосовуючи рентгенівський промінь, який падає під дуже малим кутом (ледь торкається, «ковзає», адже кути падіння, при яких аналізується розсіювання, зазвичай становлять не більше 5о (2θ)). Цей метод називається малокутовим рентгенівським розсіюваням при ковзному падінні пучка (далі – GISAXS, від англ. grazing-incidence SAXS), і цей метод є ідеальним доповненням до методів мікроскопії, які надають локальну інформацію про об’єкт, у той час, як метод GISAXS - інтегральну характеристику зразка (тобто зразка в цілому). Даний метод комбінує в собі функції малокутового рентгенівського розсіяння та дифузійного рентгенівського відбивання. Стаття містить інформацію про проведення стандартного експерименту та результуючий спектр, також надаються відомості про інші спорідненні методи - метод великокутового розсіяння рентгенівських променів при ковзному падінні пучка (GIWAXS, від англ. Grazing-incidence wide-angle X-ray scattering) та дифракцію рентгенівських променів при ковзному падінні пучка (англ. Grazing-incidence X-ray diffraction (GIXD)).
Метод застосувуєтьсядля вивчення мезопор у тонких плівках, наночастинок, що було осаджено на поверхню, наночастинок металів на поверхні оксидів, а останнім часом – для дослідження м’яких речовин – полімерних/блок-сополімерних тонких плівок й біологічних матеріалів на поверхні.