Наноструктура тонких пленок и поверхностей может быть проанализирована с помощью рентгеновского луча, который падает под очень малым углом (едва касается, скользит, углы падения, при которых анализируется рассеивания обычно составляют не более 5о (2θ)). Этот метод называется малоугловым рентгеновским рассеянием при скользящем падении пучка (далее - GISAXS, от англ. Grazing-incidence SAXS), и является идеальным дополнением методов микроскопии, которые предоставляют только локальную информацию об объекте , в то время, как метод GISAXS даёт интегральную характеристику образца (то есть образца в целом). Данный метод комбинирует в себе функции малоуглового рентгеновского рассеяния и диффузного рентгеновского отражения. Статья содержит информацию о проведении стандартного эксперимента и виде спектра, а также сведения о других родственных методах - методе широкоугольного рассеяния при скользящем падении пучка (GIWAXS, от англ. Grazing-incidence wide-angle X-ray scattering) и дифракции рентгеновских лучей при скользящем падении пучка (англ. Grazing-incidence X-ray diffraction (GIXD)).
Метод применяется для описания мезопор в тонких пленках, наночастиц, осевших на поверхности, наночастиц металлов на поверхности оксидов, а в последнее время - для исследования мягких тканей - полимерных / блок-сополимерных тонких пленок, биологических материалов на поверхности.